電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種常用的質(zhì)譜儀產(chǎn)品，主要由等離子體發(fā)生器、霧化室、矩管、四極質(zhì)譜儀和一個(gè)快速通道電子倍增管等部件組成。

 

工作原理：

 

根據(jù)被測(cè)元素通過(guò)一定形式進(jìn)入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產(chǎn)生的離子經(jīng)過(guò)離子光學(xué)透鏡聚焦后進(jìn)人四極桿質(zhì)譜分析器按照荷質(zhì)比分離，既可以按照荷質(zhì)比進(jìn)行半定量分析，也可以按照特定荷質(zhì)比的離子數(shù)目進(jìn)行定量分析。該類(lèi)型質(zhì)譜儀主要由離子源、質(zhì)量分析器和檢測(cè)器三部分組成，還配有數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、供電控制系統(tǒng)等。

 

 

與其它大型精密儀器一樣，電感耦合等離子體質(zhì)譜儀需要在一定的環(huán)境下運(yùn)行，失去這些條件，不僅儀器的使用效果不好，而且改變儀器的檢測(cè)性能，甚至造成損壞，縮短壽命。根據(jù)光學(xué)儀器的特點(diǎn)，對(duì)環(huán)境溫度和濕度有一定要求。
如果溫度變化太大，光學(xué)元件受溫度變化的影響就會(huì)產(chǎn)生譜線(xiàn)漂移，造成測(cè)定數(shù)據(jù)不穩(wěn)定，一般室溫要求維持在70～75攝氏度間的一個(gè)固定溫度，溫度變化應(yīng)小于±1攝氏度。而環(huán)境濕度過(guò)大，光學(xué)元件，特別是光柵容易受潮損壞或性能降低。
電子系統(tǒng)，尤其是印刷電路板及高壓電源上的元件容易受潮燒壞。濕度對(duì)高頻發(fā)生器的影響也十分重要，濕度過(guò)大，輕則等離子體不容易點(diǎn)燃，重則高壓電源及高壓電路放電擊毀元件，如功率管隔直陶瓷電容擊穿，輸出電路阻抗匹配、網(wǎng)絡(luò)中的可變電容放電等，以至損壞高頻發(fā)生器。一般室內(nèi)濕度應(yīng)小于百分之70，應(yīng)控制在百分之45～60之間，應(yīng)有空氣凈化裝置。